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幹式真空泵

  • 産品名稱: 幹式真空泵
  • 産品分類: 幹式真空泵
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  • 添加時間: 17/05/05
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幹式真空泵是指泵能從大氣壓力下開始抽氣,又能将被抽氣體直接排到大氣中去,泵腔内無油或其他工作介質,而且泵的極限壓力與油封式真空泵同等量級或者接近的機械真空泵。

幹式真空泵的應用是廣泛的,主要有以下幾個方面:

1)低壓化學氣相沉積中的多晶矽制備工藝中;

2)半導體刻蝕工藝。在這些生産工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒;

3)除半導體工藝外的某些産生微粒的工藝,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,則用一定型式的幹式機械真空泵可以滿足要求;

4)在化學工業、醫藥工業、食品工業中的蒸餾、幹燥、脫泡、包裝等,要防止有機溶劑造成污染,适合用幹式真空泵;

5)用做一般無油清潔真空系統的前級泵,以防止油污染。



幹式真空泵産品熱銷城市:山東,江蘇,浙江,河北,上海
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